招標文件編號：LNZB-GJZ2013-032-02

項目編號: DDWW2013020

遼寧工程招標公司受東北大學的委托，對“東北大學第二十批教學儀器設備采購項目（招標編號：LNZB-GJZ2013-032-02/項目編號: DDWW2013020）”進行公開招標，現歡迎合格的投標人參加本次政府采購活動。

一、采購內容

01包：場發射電子探針 1臺

02包：場發射球差校正透射電鏡 1套

03包：X射線熒光光譜儀 1臺

二、技術參數：

（一）第01包：場發射電子探針

1、電子光學系統

1.1二次電子分辨率：3nm（工作距離11mm，30kV）

1.2電子槍：熱場發射電子槍

1.3電子槍對中：二級偏轉電磁式，可顯示燈絲像

1.4加速電壓：1 ~ 30kV(步長為0.1kV)

1.5束流范圍：5X10-7 ~ 10-12A

1.6束流穩定度：±3×10-3/h；±3×10-3/12h

1.7放大倍數：×40 ~ ×300,000*

1.8空間分辨率：0.1μm；最小束斑：40 nm (10 kV, 1×10-8 A)，100 nm (10 kV, 1×10-7 A)

1.9物鏡：超級小物鏡（水冷）

1.10物鏡光欄：4級可變光欄, 用戶可自己更換

1.11束流探測器：氣動式法拉第杯（標準配置）

1.12自動聚焦，自動消像散，自動襯度/亮度調整：標準配置

1.13大焦深模式：標準配置

2、波譜系統

2.1元素探測范圍：5B ~ 92U（標準）,Be（選購相應的分光晶體）

2.2譜儀2θ角范圍：XCE型譜儀：25°~ 136°, H型譜儀：36°~ 118.5°

2.3 X射線出射角：40°

2.4羅蘭圓半徑：140mm（XCE、TXE、FCS型譜儀）,100mm（H型）結合

2.5譜儀控制：異步控制+同步控制

2.6分光晶體的交換：可在譜儀掃描區間任何位置交換，交換后無需調整

2.7 X射線探測器：氣流正比計數管(GPC), 氙氣正比計數管(XPC)

2.8 X射線波譜分析實驗條件（主放大器，增益，探測器高壓，脈沖高度分析儀等）：根據所測元素及相關的分光晶體，自動設置實驗條件

2.9自動全元素定性分析：約40秒

2.10波譜儀配置：4道（3道即可覆蓋全元素）

3、光學顯微鏡系統

3.1分辨率：1μm

3.2焦深：≤±1μm

3.3放大倍率：×414

3.4通過光學顯微鏡控制樣品臺：可以

4、樣品臺系統

4.1驅動方式：步進馬達

4.2行程: X=90mm;Y=90mm

4.3分析區域： 90×90mm

4.4樣品臺載物大小：100×100×50mm，另外提供四孔和九孔樣品臺各一個

4.5移動速度: 最大150mm/秒

4.6樣品臺定位方式及回復精度：±1μm

4.7驅動方向：除X和Y方向驅動樣品外，還可沿對角線方向驅動樣品

4.8曲面樣品分析(Guide-net Mapping)：標準配置，用于非平面樣品（曲面）的分析

5、背散射電子探測器

5.1探頭：Si P-N結環形探測器; 視頻輸出：拓樸像、成份像

6、分析軟件

6.1 WDS定性分析程序

6.2 EDS定性分析程序

6.3 WDS/EDS無標樣定量分析程序

6.4 WDS/EDS定量分析程序

6.5校正曲線法分析程序

6.6 WDS/EDS線分析程序

6.7 WDS/EDS區域分析程序

6.8連續自動分析程序

6.9合成面分析程序

6.10電子探針操作程序

6.11初始條件設定程序

6.12文件搜索程序

6.13電子束跟蹤程序

6.14報告書程序

7、真空系統

7.1采用無油污染的分子泵系統，對輕元素的分析沒有影響的同時樣品交換所需的時間快，只需1.5分；探針從開機到正常工作，抽氣時間為25分鐘。

8、圖像顯示

8.1可在計算機的顯示器上同時顯示二次電子像、背散射電子像（分為成分像和拓撲像兩種）和光學顯微像，共計四種像（數字化像），便于分析比較。

9、能譜儀：一體化能譜儀系統

9.1計算機控制系統及軟件

9.2操作系統：Windows系統

9.3彩色顯示器分辨率： 用于EPMA操作及分析：1280×1024,用于掃描圖像觀察：1280×1024

10、環境改造：達到使用要求。

（二）第02包：場發射球差校正透射電鏡

1、設備用途

場發射分析型透射電子顯微鏡主要用于材料的原子級高分辨形貌觀察和原子級成分分析，系統由電子光學系統、高壓系統、真空系統等部分組成。

2、主要工作條件

2.1電源電壓：

2.1.1主機:：AC單相220V (± 10%)，≥50A，50/60Hz

2.1.2球差校正器：AC單相100-240V，1500W，50/60Hz

2.1.3球差校正器用電腦：AC單相100-240V，250VA/200W，50/60Hz

2.1.4電源及頻率穩定性：≤±5%

2.1.5冷卻循環水：AC 380V (± 10%) 50Hz 三相

2.1.6地線：≤5歐姆以下獨立地線

2.2 工作環境溫度： 20±5℃，

溫度的漂移小于等于 0.2℃/h

溫度波動小于等于0.05 ℃/min

2.3 環境相對濕度： ≤60％

2.4 壓力變化：≤ 1 Pa

2.5 空氣流動： ≤100mm/秒

2.6 噪音：≤50-60dB

2.7 振動：≤0.2-0.4um

2.8 磁場：直流電流磁場波動：小于0.05mT，交流電流磁場波動：小于0.05mT

3、技術要求及參數

3.1 電子槍和加速電壓

3.1.1 電子槍：肖特基熱場發射電子槍*

3.1.2 加速電壓：加速電壓≥200kV，可實現加速電壓連續可調并正常穩定工作。

3.1.3加速電壓穩定度：≤ 1ppm/min(峰峰值)*

3.1.4物鏡電流穩定度：≤ 0.5ppm/min(峰峰值)*

3.2 分辨率

3.2.1 點分辨率≤0.23nm；（樣品臺≥±35度角時，點分辨率≤0.23nm）*

3.2.2 線分辨率≤0.10nm*

3.2.3 STEM暗場分辨率≤0.08nm

3.3 最小束斑尺寸：